Volgens internationale praktijk wordt het stofvrije zuiveringsniveau voornamelijk gespecificeerd op basis van het aantal deeltjes in de lucht waarvan de diameter groter is dan de classificatienorm per kubieke meter.Dat wil zeggen, het zogenaamde stofvrij is niet 100% zonder een beetje stof, maar gecontroleerd in een zeer klein aantal eenheden.Natuurlijk zijn de deeltjes die voldoen aan de stofnorm in deze norm erg klein in vergelijking met ons gewone stof, maar voor optische structuren zal zelfs een beetje stof een zeer grote negatieve impact hebben, dus bij de productie van optische structuurproducten, stof- gratis is een onvermijdelijke vereiste.
Het aantal deeltjes met een deeltjesgrootte van minder dan 0,5 micron wordt beperkt tot minder dan 3.500 per kubieke meter, waarmee de internationale stofvrij standaard A-niveau is bereikt.De stofvrije normen die momenteel worden gebruikt bij de productie en verwerking op chipniveau stellen hogere eisen aan stof dan klasse A, en dergelijke hoge normen worden voornamelijk gebruikt bij de productie van sommige chips van een hoger niveau.Het aantal fijnstof wordt strikt gecontroleerd binnen 1000 per kubieke meter, wat in de industrie algemeen bekend staat als het 1K-niveau.
1. Compartiment, plafondmateriaal, plafondhoogte;
2. Vloermateriaal;
3. Of het nu gaat om constante temperatuur en vochtigheid;
4. Of afvoerlucht nodig is;
5. Het totaal aantal personen in de werkplaats;
6. De calorische waarde van de procesapparatuur van de werkplaats;
En zo verder een reeks parameters.
De normen voor een cleanroom van klasse 100.000 zijn:
Maximaal toegestane hoeveelheid stof (per kubieke meter);
Het aantal deeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 micron mag niet groter zijn dan 3.500.000, en het aantal deeltjes groter dan of gelijk aan 5 micron mag niet groter zijn dan 20.000;
Maximaal toelaatbaar aantal micro-organismen;
Het aantal bacteriën mag niet groter zijn dan 500 per kubieke meter;
Het aantal bezonken bacteriën mag niet hoger zijn dan 10 per petrischaal.
Drukverschil: Het drukverschil tussen cleanrooms van hetzelfde reinheidsniveau moet consistent zijn.Het drukverschil tussen aangrenzende cleanrooms met verschillende reinheidsniveaus moet ≥5Pa zijn en het drukverschil tussen cleanrooms en niet-clean rooms moet ≥10Pa zijn.
Wanneer de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus geen speciale eisen stelt aan temperatuur en vochtigheid, is het aangewezen om schone werkkleding te dragen zonder dat u zich prettig voelt.De temperatuur wordt in de winter over het algemeen geregeld op 20 ~ 22 ℃;24~26℃ in de zomer;fluctuatie ±2℃.De luchtvochtigheid van de cleanroom in de winter wordt geregeld op 30-50% en de luchtvochtigheid in de cleanroom in de zomer op 50-70%.
geluidsbeheersing
1. Tijdens de dynamische test mag het geluidsniveau in de 10.000-klasse cleanroom niet hoger zijn dan 70 dBA.
2. Tijdens de statische test mag het geluidsniveau van de turbulente cleanroom met 10.000 niveaus niet hoger zijn dan 60 dBA.
luchtstroom organisatie
De belangrijkste luchttoevoermethode die wordt gebruikt in de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus;
1. Gedeeltelijke luchttoevoer aan het plafond;
2. Hoogrenderende luchtfilter met diffusorplaat voor plafondluchttoevoer;
3. Drie soorten luchttoevoer, waaronder luchttoevoer op de bovenste zijwand.
1. Plaats de retourluchtuitlaat aan de onderkant van de enkele zijwand;2. Bij gebruik van de gangafvoerlucht de luchtafvoerafvoer gelijkmatig in de gang plaatsen of de luchtafvoerafvoer aan het einde van de gang centraal plaatsen.
Luchtuitlaatsnelheid m/s:
1. Opening 3~5 van de openingsplaat，
2. Luchtuitlaat aan de zijkant:
(1) Bevestig jets 2 tot 5，
(2) Voor niet-aangesloten jets is de retourlucht aan het onderste deel van dezelfde zijwand 1,5 - 2,5 en de retourlucht aan het onderste deel van de tegenoverliggende zijwand 1,0 - 1,5.
Retourluchtsnelheid (m/s):
1. De retourluchtuitlaat van de cleanroom is niet meer dan 2,
2. De retourluchtuitlaat in de gang is niet meer dan 4.
1. Doel
Stel standaard operationele procedures vast voor personeel dat de cleanroom met 100.000 niveaus betreedt en verlaat om ervoor te zorgen dat de cleanroom niet wordt vervuild door personeel.
2. gebied
Het binnenkomen en verlaten van het 100.000-niveau stofvrije werkplaatspersoneel, inclusief productie-operators, onderhoudspersoneel en managementpersoneel.
3 Verantwoordelijkheden
3.1 Al het personeel dat de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus betreedt en verlaat, is verantwoordelijk voor deze werkwijze.
3.2 De teamleider van de stofvrije werkplaats en het kwaliteitscontrolepersoneel ter plaatse zijn verantwoordelijk voor toezicht en inspectie.
4 Inhoud
4.1 Ga de deur van de cleanroom binnen en leg je regenkleding en spullen op de aangegeven plek neer.
4.2 Pantoffels wisselen.Bij de schoenenwisselplaats ga je op de schoenenkruk zitten, doe je huisschoenen uit, doe ze in de schoenenkast, draai 180 graden, haal je eigen pantoffels op de bovenste laag van de schoenenkast eruit en doe ze aan.
4.3 Wisselen van werkkleding.Betreed het kantoor van het algemene werkgebied, trek vrijetijdskleding van de werknemer uit en trek werkkleding aan.
4.4 Was uw handen.Volg de procedure voor het wassen van de handen om uw handen te wassen.
4.5 Wissel naar werkschoenen.Ga de deur van de schoenenkamer binnen, ga op de bank zitten, kijk naar de deur, doe de pantoffels uit, leg de pantoffels in de onderste laag van de schoenenkast, haal uw werkschoenen uit de bovenste laag van de schoenenkast, ga zitten en draai 180 graden met je rug naar de deur en trek ze aan.
4.6 Handen wassen en afdrogen.
4.6.1 Maak je handen nat met water tot 10 cm boven je pols in de gootsteen, was met afwasmiddel, maak de huid van 10 cm op je handen en polsen vol schuim, en wrijf ongeveer 15 seconden.
4.6.2 Spoel je handen met water, spoel de geweekte rijst op je handen, draai je handen op en neer en wrijf ze totdat ze niet vettig aanvoelen.
4.6.3 Controleer visueel of de handen schoon zijn.
4.6.4 Strek uw handpalm uit tot 8~10 cm onder de droge hand en droog uw hand totdat deze droog is.
4.7 Wissel naar schoon ondergoed.Trek de werkkleding uit en stop deze in de persoonlijke locker.Doe de werkmuts, werkkleding en werkbroek met het persoonsnummer uit de muurhaak in een kleedkamer en trek ze aan.Zet het op volgorde van boven naar beneden, dat wil zeggen: eerst de hoed, het masker op, dan de bovenkant en dan de broek.Let erop dat je alle topjes in de broekzakken knoopt, al het haar in de mutsen steekt en controleert of de jassen en mutsen netjes zitten.
4.8 Handen wassen en desinfecteren.
4.8.1 Maak je handen nat met water tot 10 cm boven je pols in de gootsteen, was met afwasmiddel, maak de huid van 10 cm op je handen en polsen vol schuim, en wrijf ongeveer 15 seconden.
4.8.2 Spoel je handen met water, spoel de geweekte rijst op je handen, draai je handen op en neer en wrijf ze totdat ze niet vettig aanvoelen.
4.8.3 Controleer visueel of de handen schoon zijn.
4.8.4 Desinfectie.Week de handen tot 10 cm boven de pols gedurende 30 seconden in chloorhoudend ontsmettingsmiddel.
4.8.5 Strek uw handpalm uit tot 8~10 cm onder de hand van de droger en droog uw hand totdat deze droog is.
4.9 Draag een overall.Verwijder de ene site met het individuele nummer uit de kast.Draag ze van onder naar boven en zorg ervoor dat de overall de grond niet raakt.
4.10 Ontvangst en desinfectie.Duw de deur in de bufferruimte, leg je handen onder de automatische inductiesproeier gevuld met 75% ethanol, spray voor desinfectie, schud je handen en laat de ethanol drogen.
4.11 Betreed de cleanroom.Open de deur van de bufferkamer en betreed de stofvrije ruimte.
4.12 Wanneer personeel de schone ruimte verlaat, volg dan de omgekeerde procedure voor het betreden van de schone ruimte.Houd er rekening mee dat wanneer u werkkleding sleept, u zich van beneden naar boven moet uitkleden.
4.13 Bezoekers van buiten dienen door de fabriek te worden goedgekeurd en onder begeleiding en toezicht van de werkplaatsleiding de stofvrije werkplaats te betreden en te verlaten volgens de voorgeschreven procedures.Buitenlandse bezoekers dienen zich strikt te houden aan de beheersregels van de werkplaats.Tijdens de productieperiode van de cleanroom mogen bezoekers van buitenaf niet naar binnen.
Volgens internationale praktijk wordt het stofvrije zuiveringsniveau voornamelijk gespecificeerd op basis van het aantal deeltjes in de lucht waarvan de diameter groter is dan de classificatienorm per kubieke meter.Dat wil zeggen, het zogenaamde stofvrij is niet 100% zonder een beetje stof, maar gecontroleerd in een zeer klein aantal eenheden.Natuurlijk zijn de deeltjes die voldoen aan de stofnorm in deze norm erg klein in vergelijking met ons gewone stof, maar voor optische structuren zal zelfs een beetje stof een zeer grote negatieve impact hebben, dus bij de productie van optische structuurproducten, stof- gratis is een onvermijdelijke vereiste.
Het aantal deeltjes met een deeltjesgrootte van minder dan 0,5 micron wordt beperkt tot minder dan 3.500 per kubieke meter, waarmee de internationale stofvrij standaard A-niveau is bereikt.De stofvrije normen die momenteel worden gebruikt bij de productie en verwerking op chipniveau stellen hogere eisen aan stof dan klasse A, en dergelijke hoge normen worden voornamelijk gebruikt bij de productie van sommige chips van een hoger niveau.Het aantal fijnstof wordt strikt gecontroleerd binnen 1000 per kubieke meter, wat in de industrie algemeen bekend staat als het 1K-niveau.
1. Compartiment, plafondmateriaal, plafondhoogte;
2. Vloermateriaal;
3. Of het nu gaat om constante temperatuur en vochtigheid;
4. Of afvoerlucht nodig is;
5. Het totaal aantal personen in de werkplaats;
6. De calorische waarde van de procesapparatuur van de werkplaats;
En zo verder een reeks parameters.
De normen voor een cleanroom van klasse 100.000 zijn:
Maximaal toegestane hoeveelheid stof (per kubieke meter);
Het aantal deeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 micron mag niet groter zijn dan 3.500.000, en het aantal deeltjes groter dan of gelijk aan 5 micron mag niet groter zijn dan 20.000;
Maximaal toelaatbaar aantal micro-organismen;
Het aantal bacteriën mag niet groter zijn dan 500 per kubieke meter;
Het aantal bezonken bacteriën mag niet hoger zijn dan 10 per petrischaal.
Drukverschil: Het drukverschil tussen cleanrooms van hetzelfde reinheidsniveau moet consistent zijn.Het drukverschil tussen aangrenzende cleanrooms met verschillende reinheidsniveaus moet ≥5Pa zijn en het drukverschil tussen cleanrooms en niet-clean rooms moet ≥10Pa zijn.
Wanneer de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus geen speciale eisen stelt aan temperatuur en vochtigheid, is het aangewezen om schone werkkleding te dragen zonder dat u zich prettig voelt.De temperatuur wordt in de winter over het algemeen geregeld op 20 ~ 22 ℃;24~26℃ in de zomer;fluctuatie ±2℃.De luchtvochtigheid van de cleanroom in de winter wordt geregeld op 30-50% en de luchtvochtigheid in de cleanroom in de zomer op 50-70%.
geluidsbeheersing
1. Tijdens de dynamische test mag het geluidsniveau in de 10.000-klasse cleanroom niet hoger zijn dan 70 dBA.
2. Tijdens de statische test mag het geluidsniveau van de turbulente cleanroom met 10.000 niveaus niet hoger zijn dan 60 dBA.
luchtstroom organisatie
De belangrijkste luchttoevoermethode die wordt gebruikt in de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus;
1. Gedeeltelijke luchttoevoer aan het plafond;
2. Hoogrenderende luchtfilter met diffusorplaat voor plafondluchttoevoer;
3. Drie soorten luchttoevoer, waaronder luchttoevoer op de bovenste zijwand.
1. Plaats de retourluchtuitlaat aan de onderkant van de enkele zijwand;2. Bij gebruik van de gangafvoerlucht de luchtafvoerafvoer gelijkmatig in de gang plaatsen of de luchtafvoerafvoer aan het einde van de gang centraal plaatsen.
Luchtuitlaatsnelheid m/s:
1. Opening 3~5 van de openingsplaat，
2. Luchtuitlaat aan de zijkant:
(1) Bevestig jets 2 tot 5，
(2) Voor niet-aangesloten jets is de retourlucht aan het onderste deel van dezelfde zijwand 1,5 - 2,5 en de retourlucht aan het onderste deel van de tegenoverliggende zijwand 1,0 - 1,5.
Retourluchtsnelheid (m/s):
1. De retourluchtuitlaat van de cleanroom is niet meer dan 2,
2. De retourluchtuitlaat in de gang is niet meer dan 4.
1. Doel
Stel standaard operationele procedures vast voor personeel dat de cleanroom met 100.000 niveaus betreedt en verlaat om ervoor te zorgen dat de cleanroom niet wordt vervuild door personeel.
2. gebied
Het binnenkomen en verlaten van het 100.000-niveau stofvrije werkplaatspersoneel, inclusief productie-operators, onderhoudspersoneel en managementpersoneel.
3 Verantwoordelijkheden
3.1 Al het personeel dat de stofvrije werkplaats met 100.000 niveaus betreedt en verlaat, is verantwoordelijk voor deze werkwijze.
3.2 De teamleider van de stofvrije werkplaats en het kwaliteitscontrolepersoneel ter plaatse zijn verantwoordelijk voor toezicht en inspectie.
4 Inhoud
4.1 Ga de deur van de cleanroom binnen en leg je regenkleding en spullen op de aangegeven plek neer.
4.2 Pantoffels wisselen.Bij de schoenenwisselplaats ga je op de schoenenkruk zitten, doe je huisschoenen uit, doe ze in de schoenenkast, draai 180 graden, haal je eigen pantoffels op de bovenste laag van de schoenenkast eruit en doe ze aan.
4.3 Wisselen van werkkleding.Betreed het kantoor van het algemene werkgebied, trek vrijetijdskleding van de werknemer uit en trek werkkleding aan.
4.4 Was uw handen.Volg de procedure voor het wassen van de handen om uw handen te wassen.
4.5 Wissel naar werkschoenen.Ga de deur van de schoenenkamer binnen, ga op de bank zitten, kijk naar de deur, doe de pantoffels uit, leg de pantoffels in de onderste laag van de schoenenkast, haal uw werkschoenen uit de bovenste laag van de schoenenkast, ga zitten en draai 180 graden met je rug naar de deur en trek ze aan.
4.6 Handen wassen en afdrogen.
4.6.1 Maak je handen nat met water tot 10 cm boven je pols in de gootsteen, was met afwasmiddel, maak de huid van 10 cm op je handen en polsen vol schuim, en wrijf ongeveer 15 seconden.
4.6.2 Spoel je handen met water, spoel de geweekte rijst op je handen, draai je handen op en neer en wrijf ze totdat ze niet vettig aanvoelen.
4.6.3 Controleer visueel of de handen schoon zijn.
4.6.4 Strek uw handpalm uit tot 8~10 cm onder de droge hand en droog uw hand totdat deze droog is.
4.7 Wissel naar schoon ondergoed.Trek de werkkleding uit en stop deze in de persoonlijke locker.Doe de werkmuts, werkkleding en werkbroek met het persoonsnummer uit de muurhaak in een kleedkamer en trek ze aan.Zet het op volgorde van boven naar beneden, dat wil zeggen: eerst de hoed, het masker op, dan de bovenkant en dan de broek.Let erop dat je alle topjes in de broekzakken knoopt, al het haar in de mutsen steekt en controleert of de jassen en mutsen netjes zitten.
4.8 Handen wassen en desinfecteren.
4.8.1 Maak je handen nat met water tot 10 cm boven je pols in de gootsteen, was met afwasmiddel, maak de huid van 10 cm op je handen en polsen vol schuim, en wrijf ongeveer 15 seconden.
4.8.2 Spoel je handen met water, spoel de geweekte rijst op je handen, draai je handen op en neer en wrijf ze totdat ze niet vettig aanvoelen.
4.8.3 Controleer visueel of de handen schoon zijn.
4.8.4 Desinfectie.Week de handen tot 10 cm boven de pols gedurende 30 seconden in chloorhoudend ontsmettingsmiddel.
4.8.5 Strek uw handpalm uit tot 8~10 cm onder de hand van de droger en droog uw hand totdat deze droog is.
4.9 Draag een overall.Verwijder de ene site met het individuele nummer uit de kast.Draag ze van onder naar boven en zorg ervoor dat de overall de grond niet raakt.
4.10 Ontvangst en desinfectie.Duw de deur in de bufferruimte, leg je handen onder de automatische inductiesproeier gevuld met 75% ethanol, spray voor desinfectie, schud je handen en laat de ethanol drogen.
4.11 Betreed de cleanroom.Open de deur van de bufferkamer en betreed de stofvrije ruimte.
4.12 Wanneer personeel de schone ruimte verlaat, volg dan de omgekeerde procedure voor het betreden van de schone ruimte.Houd er rekening mee dat wanneer u werkkleding sleept, u zich van beneden naar boven moet uitkleden.
4.13 Bezoekers van buiten dienen door de fabriek te worden goedgekeurd en onder begeleiding en toezicht van de werkplaatsleiding de stofvrije werkplaats te betreden en te verlaten volgens de voorgeschreven procedures.Buitenlandse bezoekers dienen zich strikt te houden aan de beheersregels van de werkplaats.Tijdens de productieperiode van de cleanroom mogen bezoekers van buitenaf niet naar binnen.
